Шаповалов Виктор Иванович

Занимаемые должности

Профессор (каф. ЭПУ)
Главный научный сотрудник (каф. ЭПУ)
Ученая степень / Звания

Доктор технических наук
Профессор
Старший научный сотрудник
Подразделение

Кафедра электронных приборов и устройств
Электронная почта

vishapovalov@etu.ru

Научные идентификаторы

Научный идентификатор (scopusId): 12763941500

Научный идентификатор (elibraryId): 151011
Учёные степени

Доктор технических наук

Профессор

Старший научный сотрудник
РИДы

Магнетрон для осаждения пленок высокоэнтропийного сплава W-V-Nb-Mo-Ta
2025120671 | 2026-03-06

Распыляемый узел магнетрона для осаждения пленок среднеэнтропийного четырехкомпонентного сплава V-Nb-Mo-Ta
2024133720 | 2025-06-06

Мишень магнетрона для осаждения пленки бинарного сплава Ta_xTi_1-x
2024110843 | 2025-02-07

Распыляемый узел магнетрона для осаждения композиционных многокомпонентных пленок Ni0.6Co0.3Fe0.1
2808293 | 2023-11-28

Распыляемый узел магнетрона для осаждения композиционных многокомпонентных пленок Ni_0.60Co_0.3Fe_0.1
2023120096 | 2023-11-28

Способ получения пленки нитрида пермаллоя Fe_xNi_1-xN
2022109242 | 2022-11-24

Способ получения пленки нитрида пермаллоя FexNi1–xN
2784453 | 2022-11-24

Распыляемый узел магнетрона для осаждения пленки бинарного сплава Fe_xNi_1-x в диапазоне 0,23 < x < 0,27
2021123806 | 2021-11-01

Распыляемый блок магнетрона для осаждения композиционных пленок Ti_xMo_yCr_1-x-yN
2021102132 | 2021-06-09

Распыляемый блок магнетрона для осаждения твердых композиционных пленок
2019140289 | 2020-12-23

Распыляемый блок магнетрона для осаждения пленок твердых растворов Ti_xW_1-xO₃
2019103454 | 2019-09-09

Распылительный блок магнетрона для осаждения пленок твердых растворов Fe_xTi_(1-x)O₂ в диапазоне 0<x<0,6
2017130488 | 2018-08-14
Аспирантские работы

Исследование магнетронного распыления многослойной мишени
2.2. Электроника, фотоника, приборостроение и связь 2.2.1. Вакуумная и плазменная электроника | 2029
Публикации

Shapovalov V. I. Effective temperature of a hot target in film synthesis by magnetron sputtering / V. I. Shapovalov, D. S. Sharkovskii, D. I. Belenko // Vacuum. — 2026. — Т. 244. — Ст. 114878. — DOI: 10.1016/j.vacuum.2025.114878.
Год: 2026

Shapovalov V. I. Influence of thermionic emission on the current-voltage characteristics of a hot target magnetron / V. I. Shapovalov, D. S. Sharkovskii // Journal of Applied Physics. — 2025. — Т. 137, № 20. — Ст. 203303. — DOI: 10.1063/5.0271743.
Год: 2025

Иванов Н. М. Напыление пленок сплава M₁xM₂(1-x) / Н. М. Иванов, В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский // Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ. — 2025. — С. 22–29. — DOI: 10.32603/2071-8985-2025-18-1-22-29. — EDN: PPFIEI.
Год: 2025

Шаповалов В. И. Термоэлектронная эмиссия при магнетронном распылении горячей мишени / В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский // Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ. — 2025. — С. 16–27. — DOI: 10.32603/2071-8985-2025-18-8-16-27. — EDN: YVYTQU.
Год: 2025

Шаповалов В. И. Экспериментально-теоретическое исследование теплового процесса при распылении горячей титановой мишени / В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский, Д. И. Беленко // Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ. — 2025. — С. 15–27. — DOI: 10.32603/2071-8985-2025-18-9-15-27. — EDN: GZCZNI.
Год: 2025

Шаповалов В. МИШЕНЬ МАГНЕТРОНА ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНКИ ТРЕХКОМПОНЕНТНОГО ЭКВИАТОМНОГО СПЛАВА / В. Шаповалов, Д. Шарковский, А. Николаев // Быстрозакаленные материалы и покрытия. — 2025. — С. 92–98. — EDN: LJRKLR.
Год: 2025

Шарковский Д. ТЕПЛОВОЙ ПРОЦЕСС НА ГОРЯЧЕЙ МИШЕНИ В ПАКЕТЕ COMSOL MULTIPHYSICS / Д. Шарковский, В. Шаповалов // Вакуумная техника и технология. — 2025. — С. 46. — EDN: ODBVCU.
Год: 2025

Shapovalov V. I. Basic principles of modeling reactive sputtering / V. I. Shapovalov // Journal of Applied Physics. — 2024. — Т. 135, № 16. — Ст. 165306. — DOI: 10.1063/5.0204220.
Год: 2024

Shapovalov V. I. Study of Heat Flow at Substrate during Sputtering of Copper–Titanium Sandwich Target / V. I. Shapovalov, D. S. Sharkovskii // Materials. — 2024. — Т. 17, № 14. — Ст. 3599. — DOI: 10.3390/ma17143599.
Год: 2024

Иванцов М. О. Экспериментальное изучение нагревания подложки при распылении сэндвич-мишени медь-титан / М. О. Иванцов, В. И. Шаповалов // Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ. — 2024. — С. 19–31. — DOI: 10.32603/2071-8985-2024-17-1-19-31. — EDN: GZCWLE.
Год: 2024

Шаповалов В. И. Моделирование реактивного распыления. Основные принципы / В. И. Шаповалов // Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ. — 2024. — С. 23–34. — DOI: 10.32603/2071-8985-2024-17-7-23-34. — EDN: NRHRGX.
Год: 2024

Shapovalov V. On the Deposition of an FexNi1 – x Film by the Magnetron Sputtering of a Multilayer Target / V. Shapovalov, M. Ivantsov, N. Krainov // Journal of Surface Investigation. — 2023. — Т. 17, № Suppl 1. — С. S220–S225. — DOI: 10.1134/s1027451023070479.
Год: 2023

Shapovalov V. Physicochemical model for reactive sputtering of a sandwich target / V. Shapovalov // Journal of Applied Physics. — 2023. — Т. 133, № 8. — Ст. 085301. — DOI: 10.1063/5.0128399.
Год: 2023

Иванцов М. О. Анализ кинетики нагревания подложки при магнетронном распылении сэндвич мишени медь-титан / М. О. Иванцов, В. И. Шаповалов // ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ - 2023. — 2023. — С. 148–153. — EDN: CBFOCS.
Год: 2023

Шаповалов В. И. Моделирование кинетики нагревания подложки при распылении сэндвич-мишени медь-титан / В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский // Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ. — 2023. — Т. 16, № 7. — С. 5–14. — DOI: 10.32603/2071-8985-2023-16-7-5-14. — EDN: GONDUB.
Год: 2023

Шаповалов В. И. Моделирование реактивного распыления. Обзор / В. И. Шаповалов // Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ. — 2023. — С. 5–32. — DOI: 10.32603/2071-8985-2023-16-10-5-32. — EDN: GHYRAO.
Год: 2023

Шаповалов В. И. Реактивное магнетронное распыление / В. И. Шаповалов // ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ - 2023. — 2023. — С. 413–420. — EDN: FCVGGG.
Год: 2023

Шарковский Д. С. Моделирование теплового процесса при магнетронном распылении в аргоне сэндвич мишени Ti/Cu / Д. С. Шарковский, В. И. Шаповалов // ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ - 2023. — 2023. — С. 207–211. — EDN: UHPHUU.
Год: 2023

Shapovalov V. Effect of vacuum annealing on the optical properties of tungsten oxide films / V. Shapovalov // Thin Solid Films. — 2022. — Т. 758. — Ст. 139439. — DOI: 10.1016/j.tsf.2022.139439.
Год: 2022

Иванов Н. М. Влияние тока разряда на интенсивность линий в спектрах испускания при магнетронном распылении металлической мишенью в среде аргона / Н. М. Иванов, В. И. Шаповалов // ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ - 2022. — 2022. — С. 192–195. — EDN: ZAEQAQ.
Год: 2022

Иванов Н. М. Особенности спектров испускания разряда магнетрона с металлической мишенью в среде аргона / Н. М. Иванов, В. И. Шаповалов // Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ. — 2022. — С. 5–11. — DOI: 10.32603/2071-8985-2022-15-9-5-11. — EDN: WCAKVL.
Год: 2022

Иванцов М. О. Влияние изотермического отжига в вакууме на дисперсию показателя поглощения пленок оксида вольфрама / М. О. Иванцов, В. И. Шаповалов // ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ - 2022. — 2022. — С. 200–203. — EDN: OZZLUZ.
Год: 2022

Иванцов М. О. Влияние температуры отжига на термохромные свойства пленок оксида вольфрама / М. О. Иванцов, В. И. Шаповалов // Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ. — 2022. — С. 5–16. — DOI: 10.32603/2071-8985-2022-15-8-5-16. — EDN: PEGFPH.
Год: 2022

Шаповалов В. И. Магнетрон с сэндвич мишенью. основы физико-химической модели реактивного распыления / В. И. Шаповалов // Вакуумная наука и техника. — 2022. — С. 185–190. — EDN: MTYSST.
Год: 2022

Shapovalov V. Current-voltage characteristics of a magnetron with a hot titanium target in chemically active environments / V. Shapovalov, A. Zav'yalov, A. Meleshko // Surface and Coatings Technology. — 2021. — Т. 417. — Ст. 127189. — DOI: 10.1016/j.surfcoat.2021.127189.
Год: 2021

Shapovalov V. I. Simulation of the effect of argon pressure on thermal processes in the sputtering unit of a magnetron with a hot target / V. I. Shapovalov, H. Ahmedov, A. A. Kozin, [и др.] // Vacuum. — 2021. — Т. 192. — Ст. 110421. — DOI: 10.1016/j.vacuum.2021.110421. — EDN: EKPBSS.
Год: 2021

ПАВЛОВ В. А. СОКРАЩЕНИЕ ПРОДОЛЖИТЕЛЬНОСТИ НАБЛЮДЕНИЯ ЗА КИНЕТИКОЙ НАГРЕВАНИЯ ПОДЛОЖКИ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ МЕДНОЙ МИШЕНИ / В. А. ПАВЛОВ, В. И. ШАПОВАЛОВ, Д. С. ШЕСТАКОВ, [и др.] // ИЗВЕСТИЯ СПБГЭТУ ЛЭТИ. — 2021.
Год: 2021

ПАВЛОВ В. А. СОКРАЩЕНИЕ ПРОДОЛЖИТЕЛЬНОСТИ НАБЛЮДЕНИЯ ЗА КИНЕТИКОЙ НАГРЕВАНИЯ ПОДЛОЖКИ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ МЕДНОЙ МИШЕНИ / В. А. ПАВЛОВ, В. И. ШАПОВАЛОВ, Д. С. ШЕСТАКОВ, [и др.] // ИЗВЕСТИЯ СПБГЭТУ ЛЭТИ. — 2021. — С. 12–17.
Год: 2021

Павлов В. А. Сокращение продолжительности наблюдения за кинетикой нагревания подложки при магнетронном распылении медной мишени / В. А. Павлов, В. И. Шаповалов, Д. С. Шестаков, [и др.] // Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ. — 2021. — С. 12–17. — EDN: EXFHQD.
Год: 2021

Kozin A. A. Modeling of thermal processes in magnetrons with single hot target and “sandwich-target” / A. A. Kozin, V. Shapovalov // Surface and Coatings Technology. — 2019. — Т. 359. — С. 451–458. — DOI: 10.1016/j.surfcoat.2018.12.070. — EDN: LOMUEZ.
Год: 2019

Shapovalov V. Hot Target. Physicochemical Model of Reactive Sputtering / V. Shapovalov // Technical Physics. — 2019. — Т. 64, № 7. — С. 926–932. — DOI: 10.1134/s1063784219070211.
Год: 2019

Шаповалов В. ВАХ магнетрона с горячей титановой мишенью, распыляемой в трехкомпонентной смеси газов / В. Шаповалов // Вакуумная техника и технология. — 2019. — С. 30–34. — EDN: WDBLDG.
Год: 2019

Шаповалов В. Горячая мишень. Физико-химическая модель реактивного распыления / В. Шаповалов // Журнал технической физики. — 2019. — С. 984–991. — DOI: 10.21883/jtf.2019.07.47785.228-18. — EDN: BZPMBP.
Год: 2019

	Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ»
	197022, г. Санкт-Петербург, ул. Профессора Попова, д. 5
	+7 812 234-46-51
	info@etu.ru

Шаповалов Виктор Иванович

Занимаемые должности

Ученая степень / Звания

Подразделение

Электронная почта

Научный идентификатор (scopusId): 12763941500

Научный идентификатор (elibraryId): 151011

Доктор технических наук

Профессор

Старший научный сотрудник

Исследование магнетронного распыления многослойной мишени

Контакты