Практически сразу после окончания Великой отечественной войны, в 1946 г., в стенах ЛЭТИ по инициативе выдающегося отечественного учёного Николая Петровича Богородицкого была создана кафедра «Электротехнические материалы», которая в 1951 г. была переименована в кафедру «Диэлектриков и полупроводников», в 1995 г. стала кафедрой «Микроэлектроники», а с 2011 года – кафедрой «Микро- и наноэлектроники» (МНЭ).
Она была организована за год до создания первого полупроводникового транзистора, и в этом проявилось научное предвидение Николая Петровича, поскольку именно на ней впервые в стране стала осуществляться целенаправленная подготовка специалистов по твердотельной электронике. С самого начала своего существования кафедра обеспечивала курс «Электротехнические материалы» для всех факультетов ЛЭТИ.
Кафедра стала интенсивно развиваться в связи с начавшейся по инициативе Н. П. Богородицкого (ректор ЛЭТИ с 1954 по 1967 гг.) и поддержанной академиками А. Ф. Иоффе и А. И. Бергом подготовкой инженеров по специальности «Диэлектрики и полупроводники». Приём студентов па эту специальность производился как на первый, так и на старшие курсы, что позволило уже в 1952 г. выпустить первых инженеров. С 1961 г. кафедра стала выпускающей по специальности «Полупроводниковые приборы», а с 2001 г. — по специальности «Микросистемная техника».
В разные годы заведующими кафедрой были: с 1946 по 1967 гг. — профессор Н. П. Богородицкий, с 1967 по 1984 гг. — профессор В. В. Пасынков, с 1984 по 2009 гг. — профессор Ю. М. Таиров, с 2009 по 2023 гг. –– профессор В. В. Лучинин. С 2023 года кафедрой руководит д. ф.-м. н. Комков Олег Сергеевич.
|
|
|
| Заведующий кафедрой микро- и наноэлектроники (МНЭ), д.ф.-м.н. Комков Олег Сергеевич | Заместитель заведующего по научной работе каф. МНЭ, д.ф.-м.н. Зубков Василий Иванович | Заместитель заведующего по учебной работе каф. МНЭ, д.т.н. Корляков Андрей Владимирович |
Высокий уровень научных исследований, актуальность их тематик, тесная связь с промышленностью и институтами РАН (ФТИ им. А.Ф. Иоффе, ИФП СО РАН им. А.В. Ржанова, ПАО «Светлана», АО «ЦНИИ «Электрон», АО НПП «Элар», АО «Позитрон», АО «РНИИ «Электронстандарт» и мн. др.) обеспечили кафедре статус лидера в открытии новых инженерных специальностей и направлений подготовки бакалавров и магистров. Так, будучи одним из инициаторов открытия в 2004 г. нового направления подготовки «Нанотехнология», кафедра совместно с МИЭТ и МИСИС приняла активное участие в разработке федеральных государственных образовательных стандартов (ФГОС) II поколения.
В 2009 г. кафедра совместно с другими подразделениями факультета электроники (ФЭЛ) закончила разработку ФГОС III поколения по новому направлению «Электроника и наноэлектроника» и самостоятельно разработала стандарт по новейшему направлению «Нанотехнология и микросистемная техника». Оба ФГОС с 2011 г. были введены в образовательный процесс высшей школы России.
Большое влияние на расширение научной тематики по физической химии полупроводников оказало приглашение Н. П. Богородицким в 1960 г. на кафедру профессора Б. Ф. Ормонта. В настоящее время его продолжатель – профессор В. А. Мошников – возглавляет научно-педагогическую школу Санкт-Петербурга: «Атомно-молекулярный дизайн и наноархитектоника новых материалов для энергетики, электроники, сенсорики и катализа». Эффективное взаимодействие с ведущими выпускниками кафедры позволило в конце 2023 года открыть на ней Центр сканирующей микроскопии.
В 1986 г. коллектив кафедры принял активное участие в создании Центра микротехнологии и диагностики (ЦМИД), который в 2025 году был переименован в Институт силовой электроники и фотоники (ИСЭФ). В этом же году в состав кафедры МНЭ вошла молодёжная лаборатория микро- и наноэлектроники, состоящая в основном из научных сотрудников, пришедших из Академического университета им. Ж.И. Алферова.
По результатам выполненных на кафедре исследований докторские диссертации защитили: В. В. Пасынков. Д. А. Яськов, Ю. М. Таиров, А. Н. Пихтин, В. С. Сорокин, Г. Ф. Глинский, В. А. Мошников, В. П. Афанасьев, A. В. Соломонов, В. В. Лучинин, B. И. Зубков, А. А. Петров, A. В. Корляков, А. О. Лебедев, С. А. Тарасов, О. С. Комков, Ю. М. Спивак, Н. В. Андреева, С. И. Голоудина, К. Г. Гареев, М. Ф. Панов и др.
В настоящее время на кафедре МНЭ работают 50 преподавателей (в том числе 12 докторов наук, профессоров и 33 кандидата наук, доцентов), а также 12 человек учебно-вспомогательного персонала и более 40 научных сотрудников по проводимым на кафедре НИР. По четырём специальностям обучается 40 аспирантов и 5 докторантов.
Направлениями научно-образовательной деятельности кафедры МНЭ являются:
Алмазоподобные материалы, микро- и нанотехника с критической миссией для экстремальных режимов и условий эксплуатации: алмаз, карбид кремния, нитриды алюминия и галлия, высокотемпературная радиационностойкая электроника, фотоника и микросистемная техника;
Атомно-молекулярный дизайн и синтез природоподобных материалов и бионических систем: нейроархитектоника, нейрочипы, инкапсулированные и инкорпорированные тераностические наносистемы; неинвазивная квантово-волновая сенсорика;
Атомно-зондовая, оптическая и электрофизическая диагностика: атомно-силовая микроскопия, эллипсометрия, оптическая и емкостная спектроскопия.
Направления подготовки бакалавров:
11.03.04 – Электроника и наноэлектроника (на 1-й курс на кафедру принимается сразу две учебные группы).
28.03.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника (три учебные группы).
Магистерские программы по направлению 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника:
11.04.04-62 – Наноэлектроника и фотоника.
11.04.04-63 – Микро- и наноэлектронные системы.
11.04.04-… – Силовая микроэлектроника (открыта в 2024 году в рамках проекта «Передовые инженерные школы» (ПИШ)).
По направлению 28.04.01 – «Нанотехнологии и микросистемная техника»:
28.04.01-01 – Нано- и микросистемная техника.
28.04.01-02 – Нанотехнология и диагностика.
Таким образом, на всех курсах кафедры МНЭ в настоящее время одновременно обучается 30 учебных групп.
Направления подготовки аспирантов и докторантов:
1.3.11. Физика полупроводников (физико-математические науки);
2.2.2. Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств (технические науки);
2.2.3. Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники (технические науки);
2.6.6. Нанотехнологии и наноматериалы (технические науки).
С конца 2023 года успешно функционирует диссертационный совет по защите докторских и кандидатских диссертаций №24.2.387.08, в основном состоящий из профессоров кафедры МНЭ.
Коллектив кафедры микро- и наноэлектроники (каф. МНЭ)
